Китай и Россию оставили без выбора: придётся делать собственные литографы

Япония и Нидерланды под давлением США приняли решение ограничить поставки литографов в Китай.

Нидерландская ASML самые современные EUV-машины отгружать в Китай отказалась ещё в 2020 году, теперь – спустя некоторое время, необходимое для утряски всех бюрократических формальностей – прекратится отгрузка и более старых DUV-литографов. Заодно поставки литографов прекратят японская Nikon и Tokyo Electron.

Китай обеспечивал Tokyo Electron до 26% выручки по итогам 2021 года, КНР ASML давала 15%, но за счёт общего роста выручки компания заработает в 2023 году столько же, сколько и в прошлом, хотя ранее прогнозировался 25% рост выручки. Canon, планировавшей запустить в 2025 году завод по выпуску литографов, наверняка придётся корректировать свои планы.

У Китая теперь нет иного выхода кроме создания собственного EUV-литографа, патент на который не так давно зарегистрировала Huawei. Генеральный директор ASML Питер Венник не сомневается в способности Китая создать свой литограф, вопрос лишь во времени.

По тому же пути идёт и Россия, где литограф обещают выпустить базе нижегородского Института прикладной физики РАН. К 2024 году должна появиться «альфа-машина», к 2026 году – «бета-машина» и в 2028 году – серийные экземпляры. Разработчики обещают эффективность в 1,5-2 раза выше, чем у AMSL.